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潔淨(jìng)度等級要求高,風量、溫度、濕(shī)度、壓(yā)差、設備排風按需(xū)受控,照度、潔淨室截麵風速(sù)按設計或規範受控,另外該類潔淨(jìng)室(shì)對靜電要求極(jí)其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過於幹燥的廠房內極易產生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應控製在22℃左(zuǒ)右,相對濕度控製在50-60%之間(jiān)(特殊無塵車(chē)間有相關溫濕度規定)。這時可有(yǒu)效地消(xiāo)除靜電,並使人也感覺舒適。芯片生產車間、集成電路(lù)無塵室(shì)和(hé)磁盤製造車間(jiān)是(shì)屬於電子製造行業潔淨車間的重要組成部分,由於電子(zǐ)產品在製造、生產過程中對室內空氣環境和品質的要求極為嚴格,主要以(yǐ)控製微粒和浮塵(chén)為主要(yào)對象,同時還對其環境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格(gé)的規定。
●電子(zǐ)製造廠萬級潔淨車間(jiān)的噪聲級(空態(tài)):不應大於(yú)65dB(A)
●電子製造廠潔淨(jìng)室垂直流潔淨室滿布比不應小於60%,水(shuǐ)平單向流潔淨(jìng)室不應小於40%,否則就是局(jú)部單向流(liú)了。
●電子製造廠潔淨室與室外的靜壓差不應小於10Pa,不同(tóng)空氣潔淨度的潔淨區(qū)與非潔淨區之間的靜壓差不應小於5Pa
● 電子製造行業萬級潔(jié)淨室內的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值
● 補償室內排風量和保持室內正壓值(zhí)所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔淨室(shì)內每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3。
電子製造行業潔淨室淨(jìng)化空調(diào)係統加熱器,應(yīng)設(shè)置新風,超溫斷電保護,若采用點加(jiā)濕時應設置無水保護,寒冷地區,新風係統應設置防凍保護措(cuò)施。無塵室的送風量。