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依據美國聯邦(bāng)政府頒布的標準【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六(liù)級。分別是(shì)1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級隻用塵粒數目來敘述,則(zé)可假設塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大(dà)下,密度不大於75顆/立方英尺),1級在(zài)0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大於(yú)35顆(kē)/立方英尺)。
無塵(chén)室等級標準
據查詢無塵(chén)室等級標準的版本較多,於是小編就整理兩個較(jiào)常用的劃分標準,分別是國際標準 ioses14644-1、中國標準 GB/T16292-1996,具體詳情請看下表:
空氣潔淨度分級標準:ioses14644-1(國際標(biāo)準)
空氣潔淨度等級(N) | 大於或等於所標粒徑的粒子最大濃度(dù)限值(個/每立方米空氣粒子) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
ISO Class 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
ISO Class 8 | 3520000 | 832000 | 29300 |